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教师通知公告

关于聚焦离子/电子双束系统(FIB)开放运行通知

时间:2021年05月08日 11:48    来源:    作者:    阅读:

亚洲正规彩票平台科教实践与材料分析创新中心与先进润滑与密封材料研究中心共享设备聚焦离子/电子双束系统(Focused Ion/Electron Beam,FIB)已安装调试完成,并将于2021年5月12日起对校内外开放运行。聚焦离子电子双束系统(FIB)可以在金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上进行微纳结构加工,TEM样品制备,离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积。同时,配备能谱和EBSD系统,可用于材料物相及结构的快速高质量分析。设备信息及开放运行安排如下:

设备名称

聚焦离子/电子双束系统(FIB)

设备型号

FEI Helios G4 CX

技术参数

电子束

电子枪类型

肖特基场发射灯丝

分辨率

15kV

1kV

0.8nm

1.2nm

离子束

离子源种类

液态Ga离子源

分辨率

15kV

2.5nm

样品要求

样品类型

非磁性块体和非粉末材料

样品尺寸

长×宽×高≤20×20×10 mm

设备放置地点

研究生东馆101室

开放时间

每周三、四、五8:00-12:00、14:00-18:00

收费标准

电子束

400元/小时

离子束

暂不开放

联系方式

联系人

侯琴

联系电话

15829738390

预约方式

线上预约,网址:http://smarc.nwpu.edu.cn/vue/xgd/